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    2. SUN-2100N系列耐酸腐蝕光刻膠

      SUN-2100N適用于功率器件制造過程中保護鋁等金屬基底。功率器件制造過程中需要腐蝕鋁等金屬薄層,傳統工藝中使用二甲苯光刻膠。這類光刻膠不僅有毒性,而且在使用過程中產生大量有機廢液。石油醚閃點為-20 °C,被用做顯影液,存在燃爆風險。濃硝酸通常被用來剝離KTFR,是一個安全隱患。SUN-2100N由星泰克自主創新發明,完全無毒,可以有效保護鋁等金屬基底。SUN-2100N使用標準TMAH(2.38%)顯影,純水定影,既環保又安全。有機溶劑取代濃硝酸剝離光刻膠。

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